國家實驗研究院研發服務平台亮點成果獎 使用"先進半導體製造與高頻量測技術服務"團隊獲特優獎

新網記者麻念台台北特稿
2022/8/30 下午 05:56:47 / 電腦實境

　國科會轄下財團法人國家實驗研究院主要使命，是配合國科會推動全國科學技術發展，以「建構研發平台、支援學術研究、推動前瞻科技、培育科技人才」為4大任務，促成科學創新及技術突破。國研院旗下的8個研究中心不但建置了國內大學難以單獨購置的貴重軟硬體設施，更提供各種專業的研發服務平台，協助學研界研發前沿科學與技術。

國研院副院長林博文(右二)和半導體中心代理主任邱佳松(右一)頒發特優獎給台北科技大學電子系教授胡心卉(左二)和成功大學電機系博士生張書維(左一)。(歸鴻亭攝影)

　為表彰產官學研各界使用國研院的研發服務平台做出頂尖的科研成果，國研院徵選「研發服務平台亮點成果獎」，今年的特優獎由臺北科技大學電子工程學系教授胡心卉整合陽明交通大學、成功大學共同組成的研究團隊獲得，抱走獎金30萬元。特優獎的研究成果是「異質氧化銦鎵鋅/矽互補式場效電晶體之積層型三維整合於靜態隨機存取記憶體與射頻之應用」，所使用的研發服務平台是台灣半導體研究中心（半導體中心）的「先進半導體製造與高頻量測技術服務」。

林博文鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作，來使用以國家力量建構的研發服務平台，做出具有全球競爭力的研發成果。(歸鴻亭攝影)

　國研院副院長林博文表示，國研院係以「追求全球頂尖、開創在地價值」為願景，在國科會的支持與指導下，建立各種研發服務平台，以協助學研界開發出頂尖的科研成果，進而貢獻民生福祉。現在最前瞻的科技研究，許多都要依靠團隊合作，以及先進的軟硬體設備，這些正是國研院所建立各種研發服務平台的強項。希望藉由評選頒發「研發服務平台亮點成果獎」，鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作，來使用以國家力量建構的研發服務平台，做出具有全球競爭力的研發成果。

胡心卉介紹「異質氧化銦鎵鋅/矽互補式場效電晶體之積層型三維整合於靜態隨機存取記憶體與射頻之應用」。(歸鴻亭攝影)

　特優獎團隊係使用半導體中心所提供之無塵室設備與研發平台，製作出新穎之上下異質疊層（下層為p型複晶矽薄膜電晶體，上層為n型氧化銦鎵鋅薄膜電晶體）之異質通道垂直堆疊互補式電晶體(CFET)，並將其應用於反相器與6T靜態隨機存取記憶體(SRAM)。此技術可整合至低於1奈米製程，且因具有低漏電特性，可降低功耗；上層通道之氧化銦鎵鋅更可延伸應用於製作積層型電路之射頻元件。此成果展現了能將不同通道材料及多種功能元件以一體化製程整合於同一基板上，完全實現未來對於系統整合型面板(SoP)之需求。

獲特優獎團隊使用的研發服務平台是台灣半導體研究中心的「先進半導體製造與高頻量測技術服務」。(歸鴻亭攝影)

　獲得優等獎的團隊有兩支，分別由中山大學物理學系特聘教授莊豐權，以及陽明交通大學資訊工程學系教授彭文孝領銜。莊豐權團隊使用國家高速網路與計算中心（國網中心）的「台灣杉一號超級電腦」，研究晶體材料的電性、磁性、拓撲特性及熱力學性質等，了解由厚度來調控二維材料的物理機制、原子表面的吸附，以及由摻雜所導致的物理性質改變，並探討新穎的二維材料系統，以及碳基量子位元與其量子自旋的物理特性。這些研究成果大大拓展了二維材料的應用價值，促進自旋元件、量子電腦與低耗元件的發展，並可據以開發出新的元件或產品。

國家實驗研究院研發服務平台亮點成果獎獲獎者大合照。(歸鴻亭攝影)

　彭文孝教授團隊使用國網中心的「台灣杉二號AI超級電腦」，開發人工智慧影像與視訊壓縮技術、視訊編碼控制、影像與視訊處理、智慧運輸、智慧建築、智慧商店與3D行為辨識系統等技術。其中影像與視訊壓縮技術已被國際間以人工智慧技術進行視訊/音訊/資料編碼的組織MPAI(Moving Picture, Audio and Data Coding by Artificial Intelligence)納入可標準化的選項之一，且在國際壓縮標準組織JPEG AI委員會辦理的學習式圖像編碼競賽(Call for Evidence on Learning-based Image Coding Technologies)獲得第2名的佳績；視訊編碼控制技術則已與全球最大IC設計廠與第二大手機晶片供應商美國高通公司(Qualcomm)簽訂合作專案。

　獲得佳作獎的兩支團隊分別是成功大學電機工程學系特聘教授郭泰豪團隊使用半導體中心「晶片設計與製程下線服務」，開發出「應用於下世代通訊之高效能資料轉換器」；清華大學動力機械工程學系講座教授方維倫團隊使用半導體中心「CMOS-MEMS電路設計與下線服務」，開發出「CMOS-MEMS 觸覺感測器」。