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購買商品 討論留言 建置部落 參與溝通 訂閱新聞 列印此頁 臺灣大學機械系陳亮嘉團隊研發先進封裝關鍵尺寸AI-powered光學量測系統 大 中 小 〔新網記者歸鴻亭台北特稿〕 　為提升臺灣在智慧製造的核心技術能力，國科會積極推動次世代智慧製造關鍵技術之研發，國立臺灣大學機械系教授陳亮嘉帶領跨域、跨國研發團隊，成功運用自動化光學技術創新、高精密量測平台、光機設備核心技術、人工智慧AI演算法等，建立半導體自動光學檢測技術聯盟團隊，專精於先進自動化光學檢測產業及其它精密工業之線上自動光學檢測設備之研發，同時整合產、學、研發展創新之「半導體封裝製程線上智能化自動光學檢測關鍵檢測系統」，以創新光學量測原理為基礎，運用深紫外寬頻光源作為光學偵測，藉機器學習演算進行反向優化最佳化，針對多項關鍵尺寸量測突破技術瓶頸，其開口尺寸可達到次微米、深寬比達15倍之境界，超越世界半導體先進封裝界所需之技術指標。 國立臺灣大學機械系教授陳亮嘉介紹先進封裝關鍵尺寸AI-powered光學量測系統。(歸鴻亭攝影) 　陳亮嘉表示，隨著半導體產業的發展，帶動積體電路持續往更小的尺寸發展，各項技術不斷地推陳出新。在IC封裝的立體化趨勢中，其中特別具有挑戰性的量測對象是3D封裝與3D ICs的核心要角-矽穿孔(through silicon via, TSV)。矽穿孔為先進封裝中的關鍵技術，被用於實現晶片間的垂直整合。其製程初期的蝕刻階段會在矽基板上形成數量極多且高深寬比的盲孔，而盲孔的深度、直徑、側壁粗糙度、甚至孔底形貌等，都會直接影響成品的導電特性以及製程良率優劣。這些關鍵尺寸都是TSV 製程中在線上進行快速量測的重要特徵。而這些直徑僅達微米甚至次微米等級，其深寬比又普遍大於10倍的細長孔，目前一線的量測技術均已難以獲得令人滿意的量測能力與效率。根據SEMI未來5年的技術需求預測，次微米孔之深寬比會繼續增加到15倍，甚至更高，其進階的線上量測技術已成為全球一線半導體業者迫切需要的關鍵技術突破項目，更是台灣發展關鍵自主量測技術與設備的重要時刻。 陳亮嘉表示，隨著半導體產業的發展，帶動積體電路持續往更小的尺寸發展。(歸鴻亭攝影) 　陳亮嘉說明，目前業界多採用掃描式電子顯微鏡對矽穿孔的橫切面進行關鍵尺寸量測，其對樣品具破壞性且相當耗時。為克服目前對於矽穿孔製程控制的挑戰，研究團隊提出嶄新的AI-powered光學量測技術，開發出可深入高深比盲孔的創新光機架構，以物理光學模擬為基礎及AI深度學習優化等技術的整合，突破習用光學技術受結構深寬比的限制，可高速偵測出高深比盲孔的多項精密關鍵尺寸資訊。 國科會工程處處長李志鵬說明推動次世代智慧製造關鍵技術之研發成果。(歸鴻亭攝影) 　AI-powered光學量測技術以光譜反射法及散射量測法為基礎，其技術優勢在於運用雷射寬頻光源作為光學偵測方式，以所開創之演算方式進行AI深度學習之反向優化最佳化工程，深具發展創新性光學演算法之優勢， 在最小可量測孔徑與最大可量測深寬比已有技術突破，具體發展出數套創新性光學關鍵尺寸量測(OCD)系統與技術，目前已可達到世界上領先的微米級矽穿孔關鍵尺寸之量測能力，並獲得實際結果之驗證，系統可以即時量測多個關鍵尺寸資訊，其深度量測的訊噪比 (SNR) 與使用非同調光源的情況相比，實際驗證可提升約28 倍，已達領先世界的技術水準。研究成果已申請台灣發明專利及美國專利，同時在設備合作開發方面，已獲得多家國內自動光學檢測設備廠商多年期產學合作計畫以及技術轉移。 先進封裝關鍵尺寸AI-powered光學量測系統驗發成果惠合照。(歸鴻亭攝影) 　國科會工程處處長李志鵬指出，研究團隊整合台大、陽明交大、台科大以及北科大、國研院台灣儀器科技研究中心、國際一線半導體製造廠商，以及致茂電子、均豪精密、揚明光學等廠商，發展多項具突破性量測技術與系統。目前陸續獲國內一線的半導體業者之實例驗證測試機會，在設備合作開發方面已獲數家設備商多年期產學合作以及先期技術轉移，所開發深紫外量測模組將與超精密晶圓量測平台進行整合，以進場域測試。此關鍵技術的突破將可為我國高科技產業帶來雄厚的競爭力，使台灣半導體科技產業在國際上的優勢地位將愈形鞏固。 大 中 小 頻道:資訊科技　分類:科技新知 專題:歸鴻亭　發稿日期:2023/4/26 上午 11:53:37 關鍵字:陳亮嘉,封裝,光學量測,半導體,李志鵬 可能有興趣閱讀的相關報導 國研院×國資圖"空氣裡的秘密偵探:智慧微塵感測器"科普特展開展 中關村世界領先科技園區展示未來科技發展內容 值得臺灣對比參考 銅原子催化劑大突破 國輻中心開啟潔淨能源新契機 台灣首套負責任AI素養教材亮相 串聯全台14個產官學單位共同推廣 留言板   文章主題 (回覆時可不用填) 姓　名 評　等 ★ ★★ ★★★ ★★★★ ★★★★★ Email 驗證碼 OH3p （有分大小寫）   同步在Facebook上發表 留言內容   回覆主題 無 圖片 只限jpg檔和png檔             購買商品 討論留言 建置部落 參與溝通 訂閱新聞 列印此頁 閱讀更多歸鴻亭報導 [歸鴻亭報導列表] 頻道 分類 發稿時間 標題 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/26 下午 06:12:12 深度探討教養難題 果陀舞台劇"深夜小狗神秘習題"將巡演全台 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/24 下午 08:36:04 2026臺灣戲曲藝術節"紅蝴蝶追香"聲音特展 向歌仔戲黃金內台時期致敬下篇 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/24 下午 07:54:57 2026臺灣戲曲藝術節旗艦製作麥寮拱樂社"金銀天狗" 向歌仔戲黃金內台時期致敬上篇 養生健康 醫療保健 2026/3/24 下午 06:08:06 母子連心"肝"願救母 馬偕團隊挑戰12小時高難度手術帛琉首例轉診來臺換肝病人歡喜出院 養生健康 醫療保健 2026/3/19 下午 06:06:48 百萬民眾為皮蛇高風險族群 腦中風學會揭2大迷思 養生健康 醫療保健 2026/3/18 下午 07:56:47 天旋地轉不只是頭暈 臺北榮總研究7成偏頭痛患者深受前庭症狀困擾 閱讀更多新網專題 [新網專題列表] 頻道 分類 發稿時間 專題標題 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/26 下午 06:12:12 深度探討教養難題 果陀舞台劇"深夜小狗神秘習題"將巡演全台 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/24 下午 08:36:04 2026臺灣戲曲藝術節"紅蝴蝶追香"聲音特展 向歌仔戲黃金內台時期致敬下篇 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/24 下午 07:54:57 2026臺灣戲曲藝術節旗艦製作麥寮拱樂社"金銀天狗" 向歌仔戲黃金內台時期致敬上篇 養生健康 醫療保健 2026/3/24 下午 06:08:06 母子連心"肝"願救母 馬偕團隊挑戰12小時高難度手術帛琉首例轉診來臺換肝病人歡喜出院 數位傳播 國際現勢 2026/3/23 下午 07:00:08 里仁以永續行動響應"榮邦計畫" 外交部長林佳龍與史瓦帝尼大使館親臨"史瓦帝尼文化節"開幕儀式 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/19 下午 07:19:03 國光劇團"永恆時尚-春分"翻玩經典 3日4場將藝術品質轉化為品牌信任 養生健康 醫療保健 2026/3/19 下午 06:06:48 百萬民眾為皮蛇高風險族群 腦中風學會揭2大迷思 養生健康 醫療保健 2026/3/18 下午 07:56:47 天旋地轉不只是頭暈 臺北榮總研究7成偏頭痛患者深受前庭症狀困擾 捐贈贊助 文化藝術 2026/3/18 下午 05:33:07 從臺北走向國際前進歐洲3大國際音樂殿堂 2026臺北市傳藝季24套31場節目繽紛登場 養生健康 醫療保健 2026/3/18 下午 04:05:34 長庚醫院完成角膜基質內環植入術 再創國內角膜治療里程碑 第1頁，總共1596頁 最後1頁 後1頁 後10頁 後100頁 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 閱讀更多新網新聞 [新網新聞列表] 頻道 分類 發稿時間 新聞標題 資訊科技 虛擬網路 2026/1/7 下午 07:26:02 國科會TTA領新創征戰CES2026 展現AI國力獲全球新創生態系高度青睞 捐贈贊助 文化藝術 2026/1/7 下午 07:10:48 TSO第15屆"明日之星" 陶麥可錢欣以音樂啟程站上交響舞台迎向未來 親子銀髮 青少兒童 2026/1/7 下午 06:53:17 守護幼生營養均衡 持續補助公立幼兒園餐點費 養生健康 醫療保健 2026/1/7 下午 06:28:52 新北首例精準標靶治療 亞東醫院:晚期攝護腺癌迎新希望 捐贈贊助 文化藝術 2026/1/7 下午 06:13:17 Taiwan Top團隊齊聚衛武營 TT之夜揭曉年度最佳團隊 捐贈贊助 經史子集 2026/1/5 下午 07:16:16 世界的臺灣記憶免費開放全民共享 臺史博"海外史料看臺灣資料庫"正式上線 婚喪喜慶 回憶紀念 2026/1/5 下午 04:33:53 苗栗縣傳統工藝"剪黏"保存者鄭盛宏辭世 文化部將頒贈旌揚狀 婚喪喜慶 回憶紀念 2026/1/4 下午 06:18:47 新北市口述傳統"相褒歌"保存者高羅珠辭世 文化部頒贈旌揚狀 捐贈贊助 文化藝術 2026/1/3 下午 07:34:49 書劍江山志在雲霄 孔昭順李再鈐施春茂郭成樵樊湘濱聯展開幕 捐贈贊助 文化藝術 2026/1/2 下午 07:53:49 台北愛樂少年樂團20週年音樂會 邀請臺灣旅美小提琴家曾耿元以樂音接棒迎向新篇章 第1頁，總共1772頁 最後1頁 後1頁 後10頁 後100頁 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 閱讀更多新網工商 [新網工商列表] 頻道 分類 發稿時間 工商標題 工商新聞 餐飲美食 2025/3/17 下午 07:33:22 傳承經典江浙風味發展創新潮流料理 上海鄉村南京16門市開幕 工商新聞 旅遊民宿 2020/6/23 下午 07:34:23 富豪旅遊強推拉拉山采風! 來一趟最安心的旅遊 工商新聞 家庭百貨 2020/4/12 下午 02:09:26 夏日將至 別忘平日做好冷氣保養避免損壞維修 工商新聞 健康醫美 2019/1/7 下午 06:21:12 近視人口激增 飛秒雷射治療近視成主流 工商新聞 家庭百貨 2018/12/19 下午 08:12:25 "歐華有愛助罕病" 善款用於罕見疾病家庭醫療照護 工商新聞 健康醫美 2017/9/15 下午 03:12:22 張懷媗拍戲意外 走過暗黑轉戰生技保健食品重生 工商新聞 時尚精品 2017/4/20 下午 07:34:44 林心如站台 玉世家開拓大遠百首間中部據點 工商新聞 健康醫美 2017/4/12 下午 06:05:33 翻轉運動觀念 學齡後兒童每日應60分鐘身體律動 工商新聞 家庭百貨 2017/3/7 下午 09:11:16 掌廚人就該拿好刀好鍋 德國廚房用具全新產品上市 工商新聞 文化教育 2017/1/12 下午 08:21:35 105年大學學測指考 羅傑英文小班制成績亮麗 最後1頁 後1頁 後10頁 後100頁 前100頁 前10頁 前1頁 第1頁

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